[发明专利]用于非球面光学元件中频波纹误差的在位检测装置及方法

权利要求书

1.用于非球面光学元件中频波纹误差的在位检测装置，其搭载于磨削机床（1）上，所述磨削机床（1）为X/Y/Z三正交直线轴磨削机床；其特征在于，包括：倾角调节装置（6），所述倾角调节装置（6）放置在所述磨削机床的工作台（2）上，并位于待测非球面光学元件（3）一侧，所述倾角调节装置（6）的上端面为倾斜面，所述倾斜面与所述待测非球面光学元件（3）的待测轮廓的最高点至最低点连线平行；平面标准镜（7），所述平面标准镜（7）固定在所述倾斜面上；位移传感器组件（8），所述位移传感器组件（8）固定在所述磨削机床的主轴箱体（9）上，其上具有位移传感器一（4）和位移传感器二（5），所述位移传感器一（4）位于所述待测非球面光学元件（3）待测轮廓的上方；所述位移传感器二（5）位于所述平面标准镜（7）的上方；所述位移传感器一（4）和所述位移传感器二（5）通信连接数据处理系统；

所述倾角调节装置（6）包括斜板（60）、连接销（61）、连接部、调节螺杆（62）、调节螺母（63）及底板（64）；所述底板（64）的一端通过销轴（65）与所述斜板（60）的一端铰接；所述调节螺母（63）转动连接在所述底板（64）上，且靠近所述底板（64）另一端设置；所述连接部设置在所述斜板（60）的另一端，且其上具有沿着斜板（60）倾斜方向开设且可供所述连接销（61）穿设其内，且可沿其长度方向滑动的长条形滑槽或/和长孔；所述调节螺杆（62）的上端与所述连接销（61）固定连接，下端与所述调节螺母（63）螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的用于非球面光学元件中频波纹误差的在位检测装置，其特征在于，所述连接部为连接在所述斜板另一端且间隔布置的第一连接板（66）和第二连接板（67），所述连接销（61）通过所述长条形滑槽或/和长孔依次连接所述第一连接板（66）、所述调节螺杆（62）及所述第二连接板（67）。

3.根据权利要求2所述的用于非球面光学元件中频波纹误差的在位检测装置，其特征在于，所述第一连接板（66）上开设有长条形孔（68），所述第二连接板（67）靠近所述第一连接板（66）一侧开设有长条形槽（69），所述连接销（61）端部依次穿过所述长条形孔（68）和位于所述第一连接板（66）和所述第二连接板（67）之间间隙的所述调节螺杆（62）上端插入所述长条形槽（69）内。

4.根据权利要求1所述用于非球面光学元件中频波纹误差的在位检测装置，其特征在于，所述底板（64）上具有锁止凸台（641），所述调节螺母（63）的底部具有与所述锁止凸台（641）适配套接的凹槽。

5.根据权利要求1所述的用于非球面光学元件中频波纹误差的在位检测装置，其特征在于，所述位移传感器组件（8）还包括水平滑轨、两个滑块（83）和两个传感器安装部（84）；所述水平滑轨安装在远离所述主轴箱体（9）的一侧；所述两个滑块（83）间隔滑动套设在所述水平滑轨上；所述两个滑块（83）远离所述水平滑轨的一侧分别竖直安装有调节螺栓（85）；所述两个传感器安装部（84）分别一一对应螺纹连接在调节螺栓（85）上，所述位移传感器一（4）和所述位移传感器二（5）一一对应安装在所述两个传感器安装部（84）上。

6.根据权利要求5所述的用于非球面光学元件中频波纹误差的在位检测装置，其特征在于，所述水平滑轨包括安装板（81）和导轨（82），所述安装板（81）固定在所述主轴箱体（9）上，所述导轨（82）固定在所述安装板（81）上；所述两个滑块（83）间隔滑动套设在所述导轨（82）上；两个所述传感器安装部（84）均具有安装孔，所述位移传感器一（4）和所述位移传感器二（5）通过锁紧螺栓（86）一一对应紧固在所述安装孔内。

7.根据权利要求1所述的用于非球面光学元件中频波纹误差的在位检测装置，其特征在于，所述平面标准镜（7）通过常温胶粘结在所述斜板（60）上。