[发明专利]一种铝钽旋转靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 201910201834.1 | 申请日： | 2019-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN110184502A | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 徐从康 | 申请（专利权）人： | 苏州康科斯柔性电子有限公司 |
| 主分类号： | C22C21/00 | 分类号： | C22C21/00;C23C24/04;C23C4/134;C23C4/08;C23C28/02;C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铝钽旋转靶材及其制备方法，其中铝钽旋转靶材的原材料为铝钽粉，使用可控气氛冷喷涂技术喷涂铝钽粉制备靶材。该方法包括：制备粒度为150～1000目，纯度不低于99.99%的铝钽粉，对不锈钢基体进行除锈、清洗、喷砂等处理；在惰性气体保护下，使用等离子喷涂方法喷涂合金过渡层；在循环惰性气体保护氛围中，冷喷涂铝钽粉末到含有合金过渡层的基体上制备旋转靶材，惰性气体流量为200～1500SCCH，基体以60～150r/min的速度围绕中心轴旋转，喷枪的移动速度为500～1500mm/min。利用本发明制备的铝钽旋转靶材纯度高（≥99.99%、含氧量≤200ppm）、密度大（相对密度≥97%）、成分均匀，长度可达到4000mm，厚度为3～15mm。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 旋转靶材 钽粉 冷喷涂 惰性气体保护 惰性气体流量 循环惰性气体 除锈 不锈钢基体 等离子喷涂 合金过渡层 可控气氛 喷涂合金 含氧量 过渡层 喷涂铝 中心轴 钽粉末 靶材 喷枪 喷砂 清洗 移动 | ||
【主权项】：
1.一种铝钽旋转靶材，其特征在于，所述铝钽旋转靶材的纯度不小于99.99%，相对密度不小于97%，厚度为3~15mm，含氧量小于200ppm，铝元素的含量为90 ~ 99% wt ，钽元素的含量为 1 ~ 10% wt。
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