[发明专利]一种铝钽旋转靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种铝钽旋转靶材，其特征在于，所述铝钽旋转靶材的纯度不小于99.99%，相对密度不小于97%，厚度为3~15mm，含氧量小于200ppm，铝元素的含量为90 ~ 99% wt ，钽元素的含量为 1 ~ 10% wt。

2.一种制备权利要求1中的铝钽旋转靶材的方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一、对不锈钢基体进行超声清洗、喷砂处理，使基体达到合适的粗糙度；采用粒度为18~30目的钢砂进行喷砂处理；

步骤二、在惰性气体保护氛围中，使用等离子喷涂方法喷涂合金过渡涂层；合金过渡涂层的厚度为0.1～0.3mm；

步骤三、以纯度不低于99.99%铝钽粉末为原料，将粉末球磨处理3~8h，过筛得到铝钽喷涂粉末；过筛得到的铝钽喷涂粉末纯度不低于99.99%，粒度为150～1000目；

步骤四、冷喷涂铝钽粉，喷涂腔体内先抽真空再通入循环惰性气体，气体流量为200～1500 SCCH。

3.根据权利要求2所述的一种制备权利要求1中的铝钽旋转靶材的方法，其特征在于，在步骤二和步骤四中，所述惰性气体为氩气或氮气。

4.根据权利要求2所述的一种制备权利要求1中的铝钽旋转靶材的方法，其特征在于，在步骤四中，冷喷涂铝钽粉，喷涂腔体内先抽真空再通入循环惰性气体，基体以60～150r/min的速度围绕中心轴旋转，喷枪的移动速度为500～1500mm/min，工作气体温度为300~900℃，喷涂距离为40~60mm，喷涂角度为75~90°，工作气体压力为2~5Mpa。

5.根据权利要求2所述的一种制备权利要求1中的铝钽旋转靶材的方法，其特征在于，步骤二中，等离子喷涂方法喷涂合金过渡涂层的工艺参数为电流350～450A，电压45～55V，送粉气流量200～350 L/h，送粉量40～60g/min，主气流量1300～2400L/h，主气压力0.4～0.8Mpa，次气压力0.2~0.4Mpa，喷涂距离100～200mm。