[发明专利]一种太阳能多晶硅片制备方法在审
申请号: | 201910200969.6 | 申请日: | 2019-03-16 |
公开(公告)号: | CN109867287A | 公开(公告)日: | 2019-06-11 |
发明(设计)人: | 季丽 | 申请(专利权)人: | 浙江海顺新能源有限公司 |
主分类号: | C01B33/03 | 分类号: | C01B33/03;C01B33/025 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 325000 浙江省温*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种太阳能多晶硅片制备方法,包括以下步骤:冶炼提纯:取材石英砂,并将石英砂加入电弧炉中冶炼,使其提纯到98%并生成工业硅;二次提纯:将工业硅粉碎,将粉碎的工业硅加入无水氯化氢的流化床反应器中,生成拟溶解的三氯氢硅;三次提纯:过滤并冷凝拟溶解的三氯氢硅生成三氯氢硅(多级精馏);还原:净化后的三氯氢硅采用高温还原工艺,以高纯SiHCl3在H2气体中还原沉积而生成多晶硅。本发明所述的一种太阳能多晶硅片制备方法,首先对反应杂质物进行处理,且处理所产生的H2可以作为前置反应中的反应物,这样使得该方法生产多晶硅造价更低,环保性更强。 | ||
搜索关键词: | 三氯氢硅 提纯 太阳能多晶硅片 工业硅 制备 多晶硅 石英砂 溶解 冶炼 流化床反应器 无水氯化氢 多级精馏 反应杂质 高温还原 还原沉积 冷凝 电弧炉 反应物 环保性 高纯 前置 过滤 还原 取材 净化 生产 | ||
【主权项】:
1.一种太阳能多晶硅片制备方法,包括以下步骤:(1)、冶炼提纯:取材石英砂,并将石英砂加入电弧炉中冶炼,使其提纯到 98%并生成工业硅;(2)、二次提纯:将工业硅粉碎,将粉碎的工业硅加入无水氯化氢的流化床反应器中,生成拟溶解的三氯氢硅;(3)、三次提纯:过滤并冷凝拟溶解的三氯氢硅生成三氯氢硅(多级精馏);(4)、还原:净化后的三氯氢硅采用高温还原工艺,以高纯 SiHCl3 在H2气体中还原沉积而生成多晶硅。
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