[发明专利]一种巨介电常数CCTO基薄膜材料的制备方法在审
| 申请号： | 201910196716.6 | 申请日： | 2019-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN109721353A | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 黄延伟;曾和平 | 申请（专利权）人： | 上海朗研光电科技有限公司;华东师范大学 |
| 主分类号： | C04B35/465 | 分类号： | C04B35/465;C04B35/622;C04B35/624;C04B35/64 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200237 上海市闵行区虹*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于巨介电常数薄膜材料技术领域，具体为一种巨介电常数CCTO基薄膜材料的制备方法。具体为：先以钛酸四丁脂、硝酸铜、醋酸钙等含有金属阳离子源的材料为先驱物原料，以能溶解先驱物原料的水、无水乙醇、冰醋酸等为溶剂，配制含有钛源、铜源和钙源等的先驱物溶胶，即CCTO基材料的先驱物溶胶，将此溶胶静置一段时间进行老化，采用提拉法或旋涂法在玻璃或硅衬底上进行镀膜，然后置于红外灯下烘烤10‑30min，将烘烤过的薄膜在一定条件下进行激光辐照，除去有机溶剂及溶剂阴离子，即得到纯相的CCTO基薄膜材料，该制备方法成本低廉、快速高效，适合CCTO巨介电材料的推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 先驱物 巨介电常数 基薄膜 制备 烘烤 溶剂 金属阳离子 巨介电材料 钛酸四丁脂 薄膜材料 激光辐照 无水乙醇 有机溶剂 冰醋酸 醋酸钙 硅衬底 红外灯 基材料 提拉法 硝酸铜 旋涂法 阴离子 镀膜 钙源 铜源 钛源 薄膜 配制 溶解 老化 玻璃 | ||
【主权项】：
1.一种巨介电常数CCTO基薄膜材料的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：将前驱物原料溶解于溶剂中，得到前驱物溶胶；将所述前驱物溶胶静置老化后，在基材表面进行镀膜，用红外灯进行烘烤，得到半成品；将所述半成品利用激光辐照进行退火后，除去水分和溶剂，得到所述巨介电常数CCTO基薄膜材料。
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