[发明专利]一种扁平型大面积高密度直流弧放电等离子体源在审
| 申请号： | 201910192042.2 | 申请日： | 2019-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN109951945A | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 周海山;袁小刚;罗广南;李波;李建刚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | H05H1/48 | 分类号： | H05H1/48 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 宋仔娟 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种扁平型大面积高密度直流弧放电等离子体源，包括阴极、阳极，阴极安装于放电室中，阳极安装于放电室外，阳极与阴极之间采用多个并行设置的级联片连接，所述级联片与放电室之间、相邻级联片之间均通过绝缘连接件连接；所述级联片、绝缘连接件的中心开有通孔作为等离子体通道，阳极附着在最末端级联片的通孔内壁上，阳极的中心也开有通孔作为等离子体通道。本发明解决了现有级联弧等离子体源辐照面积小的问题，将点源拓展成了大面积面源。可以在一次实验中辐照大面积样品，或者同时辐照多个小样品进行对比实验。同时，本发明提出的方案还可以用于聚变堆面向等离子体部件整个模块的辐照，突破了该类型等离子体源辐照面积的限制。 | ||
| 搜索关键词： | 辐照 联片 等离子体源 阳极 阴极 等离子体通道 绝缘连接件 直流弧放电 扁平型 放电室 通孔 等离子体 大面积样品 并行设置 对比实验 通孔内壁 阳极安装 聚变堆 相邻级 小样品 放电 点源 附着 级联 面源 室外 拓展 | ||
【主权项】：
1.一种扁平型大面积高密度直流弧放电等离子体源，其特征在于：包括阴极、阳极，所述阴极安装于放电室中，阳极安装于放电室外，阳极与阴极之间采用多个并行设置的级联片连接，所述级联片与放电室之间、相邻级联片之间均通过绝缘连接件连接；所述级联片、绝缘连接件的中心开有通孔作为等离子体通道，所述阳极附着在最末端级联片的通孔内壁上，阳极的中心也开有通孔作为等离子体通道。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院合肥物质科学研究院，未经中国科学院合肥物质科学研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910192042.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
