[发明专利]一种超薄薄膜电化学沉积系统在审
| 申请号： | 201910161419.8 | 申请日： | 2019-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN109735880A | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 叶颖辉 | 申请（专利权）人： | 深圳市汇美新科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D3/38 | 分类号： | C25D3/38;C25D5/10;C25D17/12;C25D21/12 |
| 代理公司： | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人： | 叶树明 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种超薄薄膜电化学沉积系统，放卷模块，用于放卷膜面；前处理模块，用于微蚀洗及清洁膜面的表面；第一沉积模块，用于对膜面的双面预镀沉积复合铜层；第二沉积模块，用于对膜面的复合铜层进行双面增厚沉积铜层；清洗模块，用于对膜面进行清洗；保护层沉积模块，用于在清洗后的膜面上沉积保护层；后处理模块，用于对膜面进行清洁、烘干、切割；收卷模块，用于收卷膜面。采用本发明的超薄薄膜电化学沉积系统，可以快速进行超薄薄膜的电镀加工，一次即可完成双面电镀，加工效率高，并且机构设置合理，有效节约了生产成本，提高了生产效率，质量可控，张力控制精度高，超薄薄膜的外观性能好。 | ||
| 搜索关键词： | 超薄薄膜 沉积 电化学沉积系统 复合铜 膜面 清洗 保护层沉积 后处理模块 前处理模块 沉积铜层 放卷模块 机构设置 加工效率 清洗模块 生产效率 双面电镀 张力控制 保护层 放卷膜 清洁膜 收卷膜 电镀 烘干 可控 收卷 微蚀 预镀 增厚 生产成本 切割 清洁 节约 加工 | ||
【主权项】：
1.一种超薄薄膜电化学沉积系统，其特征在于：包括放卷模块，用于放卷膜面；前处理模块，用于微蚀洗及清洁膜面的表面；第一沉积模块，用于对膜面的双面预镀沉积复合铜层；第二沉积模块，用于对膜面的复合铜层进行双面增厚沉积铜层；清洗模块，用于对膜面进行清洗；保护层沉积模块，用于在清洗后的膜面上沉积保护层；后处理模块，用于对膜面进行清洁、烘干、切割；收卷模块，用于收卷膜面。
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