[发明专利]掩膜板及掩膜组件在审
| 申请号： | 201910153513.9 | 申请日： | 2019-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN110760791A | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 李加伟 | 申请（专利权）人： | 云谷(固安)科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 11709 北京曼威知识产权代理有限公司 | 代理人： | 方志炜 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种掩膜板及掩膜组件。所述掩膜板包括第一蒸镀区域和第二蒸镀区域，所述第一蒸镀区域及所述第二蒸镀区域内分别设有多个蒸镀开口，所述第一蒸镀区域内蒸镀开口的密度大于所述第二蒸镀区域内蒸镀开口的密度，所述第一蒸镀区域内蒸镀开口的横截面的面积小于所述第二蒸镀区域内蒸镀开口的横截面的面积。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀 开口 掩膜板 掩膜组件 申请 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括第一蒸镀区域和第二蒸镀区域，所述第一蒸镀区域及所述第二蒸镀区域内分别设有多个蒸镀开口，所述第一蒸镀区域内蒸镀开口的密度大于所述第二蒸镀区域内蒸镀开口的密度，所述第一蒸镀区域内蒸镀开口的横截面的面积小于所述第二蒸镀区域内蒸镀开口的横截面的面积。/n
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