[发明专利]掩膜板及掩膜组件

权利要求书

1.一种掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括第一蒸镀区域和第二蒸镀区域，所述第一蒸镀区域及所述第二蒸镀区域内分别设有多个蒸镀开口，所述第一蒸镀区域内蒸镀开口的密度大于所述第二蒸镀区域内蒸镀开口的密度，所述第一蒸镀区域内蒸镀开口的横截面的面积小于所述第二蒸镀区域内蒸镀开口的横截面的面积。

2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第一蒸镀区域内蒸镀开口内壁的至少一个侧面设有第一凸起，所述第二蒸镀区域内蒸镀开口内壁的同侧设有第二凸起，所述第一凸起在垂直于其延伸方向上的第一截面的面积大于所述第二凸起在垂直于其延伸方向的第二截面的面积；所述第一凸起及所述第二凸起所在的蒸镀开口内壁的侧面相邻的两侧面中，一个侧面指向另一侧面的方向为对应的凸起的延伸方向；

优选的，所述第一截面的边界由多个折线组成，所述第二截面的边界由多个折线组成。

3.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述第一截面及所述第二截面分别为轴对称图形，且所述第一截面及所述第二截面的对称轴分别与其所在蒸镀开口内壁的侧面垂直；由对称轴向背离对称轴的方向，所述第一截面的边界与其所在的蒸镀开口内壁的侧面之间的距离逐渐减小，所述第二截面的边界与其所在的蒸镀开口内壁的侧面之间的距离逐渐减小；

优选的，所述第一截面与其所在的蒸镀开口内壁的侧面之间的最大距离等于所述第二截面与其所在蒸镀开口内壁的侧面之间的最大距离；所述第一截面及所述第二截面的边界位于其对称轴两侧的部分分别为弧形，与所述第一截面的边界位于其对称轴一侧的部分相切的第一直线与其对称轴的夹角为第一夹角，所述第一直线过所述第一截面的边界与其对称轴的交点；与所述第二截面的边界位于其对称轴一侧的部分相切的第二直线与其对称轴的夹角为第二夹角，所述第二直线过所述第二截面的边界与其对称轴的交点；所述第一夹角大于所述第二夹角；

优选的，所述第一夹角的范围为60°至80°，所述第二夹角的范围为20°至40°。

4.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板还包括邻接所述第一蒸镀区域与所述第二蒸镀区域的过渡区域，所述过渡区域内设置有多个蒸镀开口，所述过渡区域内蒸镀开口的内壁与第一蒸镀区域的蒸镀开口设有第一凸起的同侧设置有第三凸起，所述第三凸起在垂直于其延伸方向上的第三截面的面积小于所述第一截面的面积，且大于所述第二截面的面积；所述第三凸起所在的蒸镀开口内壁的侧面相邻的两侧面中，其中一个侧面指向另一侧面的方向为其延伸方向；

优选的，所述第一截面、所述第二截面及所述第三截面分别为轴对称图形，所述第一截面、所述第二截面及所述第三截面的对称轴分别与其所在蒸镀开口内壁的侧面垂直；由对称轴向背离对称轴的方向，所述第一截面的边界与其所在的蒸镀开口内壁的侧面之间的距离逐渐减小，所述第二截面的边界与其所在的蒸镀开口内壁的侧面之间的距离逐渐减小，所述第三截面的边界与其所在的蒸镀开口内壁的侧面之间的距离逐渐减小；

优选的，所述第一截面与其所在的蒸镀开口内壁的侧面之间的最大距离、所述第二截面与其所在蒸镀开口内壁的侧面之间的最大距离及所述第三截面与其所在的蒸镀开口内壁的侧面之间的最大距离分别相等；所述第一截面、所述第二截面及所述第三截面的边界位于其对称轴两侧的部分分别为弧形，与所述第一截面的边界位于其对称轴一侧的部分相切的第一直线与其对称轴的夹角为第一夹角，所述第一直线过所述第一截面的边界与其对称轴的交点；与所述第二截面的边界位于其对称轴一侧的部分相切的第二直线与其对称轴的夹角为第二夹角，所述第二直线过所述第二截面的边界与其对称轴的交点；与所述第三截面的边界位于其对称轴一侧的部分相切的第三直线与其对称轴的夹角为第三夹角，所述第三直线过所述第三截面的边界与其对称轴的交点；所述第三夹角大于所述第二夹角，且所述第三夹角小于所述第一夹角。