[发明专利]传感器设备、力检测装置及机器人有效
申请号: | 201910145556.2 | 申请日: | 2019-02-27 |
公开(公告)号: | CN110208575B | 公开(公告)日: | 2023-02-17 |
发明(设计)人: | 宫坂英男;河合宏纪;竖山光普;小松洋 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G01P15/00 | 分类号: | G01P15/00 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 潘树志 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供了能够抑制盖体和力检测部的干扰,能够发挥优异的力检测特性的传感器设备、力检测装置及机器人。传感器设备具有:基体,具有凹部;盖体,封闭所述凹部的开口;力检测部,配置于所述凹部,根据受到的外力输出电荷;以及电子部件,配置于所述凹部,与所述力检测部电连接,在所述盖体的厚度方向上,所述电子部件和所述盖体的分离距离大于所述力检测部和所述盖体的分离距离。 | ||
搜索关键词: | 传感器 设备 检测 装置 机器人 | ||
【主权项】:
1.一种传感器设备,其特征在于,具有:基体,具有凹部;盖体,封闭所述凹部的开口;力检测部,配置于所述凹部,根据受到的外力输出电荷;以及电子部件,配置于所述凹部,与所述力检测部电连接,在所述盖体的厚度方向上,所述电子部件和所述盖体的分离距离大于所述力检测部和所述盖体的分离距离。
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