[发明专利]基于热成像技术的半导体功率器件动态测试系统及其方法在审
| 申请号： | 201910131890.2 | 申请日： | 2019-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN109738781A | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 朱袁正;周锦程 | 申请（专利权）人： | 无锡新洁能股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01J5/00;H02M3/158 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人： | 曹祖良 |
| 地址： | 214131 江苏省无锡市滨湖区高浪东路999号*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于功率半导体器件测试技术领域，涉及基于热成像技术的半导体功率器件动态测试系统，包括测试电路板、信号发生器和红外热成像仪，用于安装被测器件T的测试电路板与信号发生器连接，所述红外热成像仪的观测窗口对准被测器件T，用于拍摄及显示测试过程中被测器件T的温度分布图像；本发明半导体功率器件动态测试系统能够监测功率器件在测试中任一时间点器件的热分布，通过形成不同时间点的热分布图像，能够获得功率器件测试过程中电流转移的全过程，从而能够了解到器件所有存在的薄弱点；本测试系统能够应用于大多数功率器件，适用性广，对提升器件设计能力、提升产品竞争力有重大意义。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体功率器件 动态测试系统 被测器件 测试电路板 热成像技术 信号发生器 热分布 功率半导体器件 测试技术领域 功率器件测试 红外热成像仪 温度分布图像 产品竞争力 红外热成像 测试过程 测试系统 电流转移 功率器件 观测窗口 监测功率 提升器件 重大意义 薄弱点 时间点 对准 图像 测试 拍摄 应用 | ||
【主权项】：
1.基于热成像技术的半导体功率器件动态测试系统，包括测试电路板（1）、信号发生器（2）和红外热成像仪（3），其特征在于：用于安装被测器件T的测试电路板（1）与信号发生器（2）连接，所述红外热成像仪（3）的观测窗口对准被测器件T，用于拍摄及显示测试过程中被测器件T的温度分布图像。
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