[发明专利]一种用于团簇束流源的电转向器有效
| 申请号： | 201910131442.2 | 申请日： | 2019-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN110129747B | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 曹路;宋凤麒;步海军;张敏昊;张同庆 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54;H01J37/32 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 陈建和 |
| 地址： | 210093 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 用于团簇束流源的电转向器，设有8个1/8金属球体安装于立方体框架的顶点处，正方体框架为陶瓷或者聚四氟乙烯材质的绝缘体；正方体框架边长为60±10cm。8个1/8球体相互独立，能够单独加上不同电压。8个1/8金属球体的球心在六面体的8个顶点上。本发明采用8个1/8球形电极上同时加上正或负电压，可以方便控制经过本发明控制体的离子束流，可以正以直线或发生偏转，可以按任意方式控制，尤其是电极的形状精确，施加的电压均衡，电控制束流的性能好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 团簇束流源 转向器 | ||
【主权项】：
1.用于团簇束流源的电转向器，其特征是，设有8个1/8金属球体安装于立方体框架的顶点处，正方体框架为陶瓷或者聚四氟乙烯材质的绝缘体；正方体框架边长为60±10cm；8个1/8球体相互独立，能够单独加上不同电压；8个1/8金属球体的球心在六面体的8个顶点上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京大学，未经南京大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910131442.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
