[发明专利]一种用于团簇束流源的电转向器

说明书

用于团簇束流源的电转向器，设有8个1/8金属球体安装于立方体框架的顶点处，正方体框架为陶瓷或者聚四氟乙烯材质的绝缘体；正方体框架边长为60±10cm。8个1/8球体相互独立，能够单独加上不同电压。8个1/8金属球体的球心在六面体的8个顶点上。本发明采用8个1/8球形电极上同时加上正或负电压，可以方便控制经过本发明控制体的离子束流，可以正以直线或发生偏转，可以按任意方式控制，尤其是电极的形状精确，施加的电压均衡，电控制束流的性能好。

技术领域

本发明涉及一种对原子团簇束流源的控制装置。

背景技术

近年来，随着原子制造的快速发展，团簇、单原子单分子器件等新材料以及新器件的需求日益扩大，通过束流源制备团簇成为了满足原子制造材料需求的主要手段。比如我们可以通过磁控溅射方式溅射出团簇原子气，通过气相冷凝使原子气冷凝为簇，再通过超声膨胀和离子光学系统将团簇聚焦成为束流。在飞行过程中对适合加工的团簇进行转向，进行不同方式的处理。

发明内容

本发明目的是，提出一种对原子团簇束流源的控制装置。即一种用于团簇束流源的电转向器。

本发明技术方案是，用于团簇束流源的电转向器，8个1/8金属球体安装于立方体框架的顶点处，正方体框架为陶瓷或者聚四氟乙烯材质的绝缘体；正方体框架边长为60 ±10cm。8个1/8球体相互独立，能够单独加上不同电压。8个1/8金属球体的球心在六面体的8个顶点上。

球体半径为20±5cm，加工孔洞为4±2mm螺纹孔。

有益效果，本发明采用8个1/8球形电极上同时加上正或负电压，可以方便控制经过本发明控制体的离子束流，可以正以直线或发生偏转，可以按任意方式控制，尤其是电极的形状精确，施加的电压均衡，电控制束流的性能好。

附图说明

图1为本发明电转向器结构示意图。

具体实施方式

入射离子束流为金100团簇，束流能量为100eV，每个团簇粒子带一个正电荷，在 4个1/8球形电极(红色)上同时加上-500V电压，在4个1/8球形电极(黄色)上同时加上+500V电压，离子束流向下偏转90度射出。

每个电极为1/8球体，1/8球体半径为25cm，1/8球体上设有加工孔洞为3mm直径螺纹孔，用于安装以及加装电极。

方案如下，采用8个1/8的球体，单个球体采用304不锈钢金属制成，圆弧面做抛光，并可以加工孔洞以利安装。图纸如图1所示，球体半径为25cm，加工孔洞为3mm 螺纹孔，用于安装以及加装电极。

按照图1所示对零件进行装配。8个1/8球体安装于正方体框架的顶点处，正方体框架为陶瓷或者聚四氟乙烯材质，为绝缘体。正方体框架边长为60cm。8个1/8球体相互独立，能够单独加上不同电压。

对零件进行装配。8个1/8球体安装于正方体框架的顶点处，正方体框架为陶瓷或者聚四氟乙烯材质，为绝缘体。正方体框架边长为60cm。8个1/8球体相互独立，能够单独加上不同电压。

通过对各个1/8球型电极加以不同的电压，可以使穿过该转向器的离子束流偏转，偏转角度为90度，偏转方向为5个方向，红色部分为8个1/8球形电极，灰色部分为陶瓷支架，蓝色为离子束流。

通过对各个1/8球型电极加以不同的电压，可以使穿过该转向器的离子束流偏转，偏转角度为90度，偏转方向为5个方向。红色部分为8个1/8球形电极，灰色部分为陶瓷支架，离子束流在六面体表面物垂直或以一定角度射出。

使用实例如下：入射离子束流为金100团簇，束流能量为100eV，每个团簇粒子带一个正电荷，在8个1/8球形电极上同时加上-500V电压，离子束流不发生偏转，平行射出。