[发明专利]石墨烯纳米带的转移方法在审
| 申请号： | 201910130002.5 | 申请日： | 2019-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN109850877A | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 张苗;王雅斓;李攀林;狄增峰;薛忠营 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国科学院大学 |
| 主分类号： | C01B32/186 | 分类号： | C01B32/186 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种石墨烯纳米带的转移方法，包括如下步骤：提供一初始衬底；在所述初始衬底上形成石墨烯纳米带；在所述初始衬底及所述石墨烯纳米带的上方形成支撑层，所述支撑层包覆所述石墨烯纳米带；提供一目标衬底，将所述目标衬底与所述支撑层键合；去除所述初始衬底。本发明通过在初始衬底上形成支撑层，包覆石墨烯纳米带，并将所述支撑层与目标衬底键合，实现石墨烯纳米带的转移，避免了石墨烯纳米带在转移中容易出现有机物残留及结构损坏的问题，提高了制品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米带 石墨烯 衬底 支撑层 有机物残留 包覆石墨 衬底键合 结构损坏 包覆 键合 良率 去除 | ||
【主权项】：
1.一种石墨烯纳米带的转移方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一初始衬底；在所述初始衬底上形成石墨烯纳米带；在所述初始衬底及所述石墨烯纳米带的上方形成支撑层，所述支撑层包覆所述石墨烯纳米带；提供一目标衬底，将所述目标衬底与所述支撑层键合；去除所述初始衬底。
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