[发明专利]环抛中抛光液的循环供液装置及供液方法在审
| 申请号： | 201910129998.8 | 申请日： | 2019-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN109759957A | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 廖德锋;王乙任;谢瑞清;赵世杰;周炼;陈贤华;张飞虎;张清华;王健;许乔 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 曹鹏飞 |
| 地址： | 621900*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及环抛中抛光液的循环供液装置和供液方法，装置包括供液器；供液管路，其与供液器可转换连通或截止，且其固定于环抛机的多工位桥架上；多个喷嘴，按照预设间距布置于供液管路上，且与供液管路可转换连通或截止；其中预设间距指根据光学元件在环抛机上的位置对应设置喷嘴的位置；回收桶，其连接于环抛机的抛光盘底部；回收泵，其通过管路与回收桶连通，且与供液器可转换连通或截止；及控制柜，供液器、喷嘴和回收泵均与控制柜电性连接。解决了单点供给抛光液造成的抛光液分布不均匀，导致元件表面散热速度不同，引起变形的技术问题，从而改善元件内部的非均匀温度场及其引起的变形，提高加工精度；同时循环利用抛光液可以降低加工成本。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光液 供液器 连通 喷嘴 可转换 循环供液装置 供液管路 环抛机 回收泵 回收桶 控制柜 截止 供液 预设 非均匀温度场 电性连接 光学元件 间距布置 循环利用 元件表面 变形的 不均匀 多工位 供液管 抛光盘 散热 单点 桥架 加工 变形 | ||
【主权项】：
1.环抛中抛光液的循环供液装置，其搭载于环抛机上，其特征在于，包括：供液器(1)，用于储存、供给抛光液，其设置于所述环抛机外部；供液管路(2)，所述供液管路(2)与所述供液器(1)可转换连通或截止，且其固定于所述环抛机的多工位桥架上；喷嘴(3)，所述喷嘴(3)包括多个，按照预设间距布置于所述供液管路(2)上，且与所述供液管路(2)可转换连通或截止；回收桶(4)，所述回收桶(4)连接于环抛机的抛光盘底部；回收泵(5)，所述回收泵(5)通过管路与所述回收桶(4)连通，且与所述供液器(1)可转换连通或截止；及控制柜(6)，所述供液器(1)、所述喷嘴(3)和所述回收泵(5)均与所述控制柜(6)电性连接。
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