[发明专利]等离子体发生器、清洗液处理设备和处理方法、清洗设备有效
| 申请号： | 201910118974.2 | 申请日： | 2019-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN110711738B | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 金旼亨;刘钒镇;南象基;路四清;张原赫;韩奎熙 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10;B08B7/00;H01L21/67;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 尹淑梅;刘美华 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种等离子体发生器、清洗液处理设备和处理方法、清洗设备。该清洗液处理设备包括：气泡形成部，被构造为降低通过使液体和气体混合获得的混合液体的压力，以在混合液体中形成气泡；等离子体发生器，连接到气泡形成部并且被构造为向混合液体施加电压以在形成在混合液体中的气泡中形成等离子体；混合部，连接到等离子体发生器并且被构造为使包括在等离子体中的自由基溶解到混合液体中；以及排出喷嘴，连接到混合部并且被构造为将混合液体排出到晶圆。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 发生器 清洗 处理 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种清洗液处理设备，所述清洗液处理设备包括：/n气泡形成部，被构造为降低通过使液体和气体混合获得的混合液体的压力，以在混合液体中形成气泡；/n等离子体发生器，连接到气泡形成部并且被构造为向混合液体施加电压以在形成在混合液体中的气泡中形成等离子体；/n混合部，连接到等离子体发生器并且被构造为使包括在等离子体中的自由基溶解到混合液体中；以及/n排出喷嘴，连接到混合部并且被构造为将混合液体排出到晶圆。/n
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