[发明专利]一种面向Micro LED芯片的转移设备

摘要

本发明公开了一种面向Micro LED芯片的转移设备，包括转移单元、激光剥离单元、拾取头切换单元、视觉检测单元、修补单元以及作为以上各单元安装基础的支架。该面向Micro LED芯片的转移设备，其中转移单元可实现Micro LED芯片的拾取及转移；激光剥离单元可以实现Micro LED芯片与基板的剥离；俯视固定相机可对需转移Micro LED芯片的尺寸、数量、位置进行预判断，实现对拾取头的粗定位；拾取头切换单元可以自动选择和切换拾取头，实现不同尺寸、数量的Micro LED芯片的拾取及转移；俯视运动相机可以实现对拾取头的精确定位；视觉检测相机用于检测Micro LED芯片转移后是否正常工作；修补单元用于对不正常工作Micro LED芯片的修补，最终实现Micro LED芯片的转移，获得对Micro LED芯片快速精确转移效果。

主权项

1.一种面向Micro LED芯片的转移设备，包括包括转移单元(100)、激光剥离单元(200)、拾取头切换单元(300)、视觉检测单元(400)、修补单元(500)以及作为以上各单元安装基础的支架，其特征在于：所述转移单元(100)包括拾取头(101)、X向平动模块(102)、Y向平动模块(103)和Z向平动模块(104)，该三个模块分别用于执行所述拾取头(101)在X轴和Y轴及Z轴方向的直线移动，由此可实现Micro LED芯片的拾取及转移，所述激光剥离单元(200)固定安装在转移单元(100)的下方，所述激光剥离单元(200)可以实现Micro LED芯片与基板的剥离。