[发明专利]一种高稳定、低暗电流全无机钙钛矿光电探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种高稳定、低暗电流全无机钙钛矿光电探测器及其制备方法。所述倒置结构光电探测器包括透明导电正电极、超薄氧化铝层、全无机钙钛矿光吸收层、电子传输层、金属负电极。所述制备方法是采用ALD沉积超薄氧化铝薄膜和氧化钛薄膜，制得器件暗电流低、稳定性高，器件暴露空气超过100天仍然表现出良好的光电性能。在钙钛矿与金属电极界面引入超薄氧化钛薄膜，实现界面能带匹配，提高器件了响应速度和灵敏度。本发明制备方法适用于柔性探测器制作，为实现无机钙钛矿光电探测器及其柔性器件产业化，提供一种有效、可行、低成本的方案。

主权项

1.一种高稳定、低暗电流全无机钙钛矿光电探测器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)对透明导电基底进行清洗、干燥和紫外臭氧处理；(2)采用原子层沉积技术在透明导电基底上沉积氧化铝薄膜，控制厚度为1～3nm；(3)在氧化铝薄膜上旋涂全无机钙钛矿前驱体溶液，然后进行退火，制得全无机钙钛矿薄膜，厚度为40～200nm；(4)采用ALD技术在全无机钙钛矿薄膜上沉积电子传输层，控制厚度为5～10nm；(5)在电子传输层上沉积一层金电极，制得所述高稳定、低暗电流全无机钙钛矿光电探测器。