[发明专利]金属溅镀机有效
| 申请号： | 201910089111.7 | 申请日： | 2019-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN109594048B | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 沈能辉 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50;C23C14/54;C23C14/14 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种金属溅镀机，包括：溅镀机台，用于在基板上溅镀金属；托盘，放置在所述溅镀机台上，用于承载所述基板；托盘存储仓，用于存储托盘；运输台车，用于运输托盘；封闭门，用于封闭所述溅镀机台；控制装置，用于控制所述封闭门的开关，以及所述运输台车工作；通过设置控制装置实现托盘以及封闭门的全自动化更换，减少了手动更换托盘和开关封闭门所需时间，提升设备综合效率，从而提升生产产能，同时也减少人员手动操作带来的安全隐患，减少人员进入带来的杂质，提升产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 溅镀机 | ||
【主权项】：
1.一种金属溅镀机，其特征在于，包括：溅镀机台，用于在基板上溅镀金属；托盘，放置在所述溅镀机台上，用于承载所述基板；托盘存储仓，用于存储托盘；运输台车，用于运输托盘；封闭门，用于封闭所述溅镀机台；控制装置，用于控制所述封闭门的开关，以及所述运输台车工作。
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