[发明专利]金属溅镀机

说明书

本发明提供一种金属溅镀机，包括：溅镀机台，用于在基板上溅镀金属；托盘，放置在所述溅镀机台上，用于承载所述基板；托盘存储仓，用于存储托盘；运输台车，用于运输托盘；封闭门，用于封闭所述溅镀机台；控制装置，用于控制所述封闭门的开关，以及所述运输台车工作；通过设置控制装置实现托盘以及封闭门的全自动化更换，减少了手动更换托盘和开关封闭门所需时间，提升设备综合效率，从而提升生产产能，同时也减少人员手动操作带来的安全隐患，减少人员进入带来的杂质，提升产品良率。

技术领域

本发明涉及镀膜领域，尤其涉及一种金属溅镀机。

背景技术

在金属溅镀机中，基板放置在托盘上进行金属溅镀，不同规格的基板对应不同标准的托盘，因此在金属溅镀机工作过程中，往往需要进行托盘的更换。现有托盘更换方式为人工，效率低。

即现有金属溅镀机存在缺陷，需要改进。

发明内容

本发明提供一种金属溅镀机，以缓解现有金属溅镀机无法实现托盘存储仓与溅镀机台之间托盘的全自动化传送及交换的技术问题。

为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：

本发明提供一种金属溅镀机，包括：

溅镀机台，用于在基板上溅镀金属；

托盘，放置在所述溅镀机台上，用于承载所述基板；

托盘存储仓，用于存储托盘；

运输台车，用于运输托盘；

封闭门，用于封闭所述溅镀机台；

控制装置，用于控制所述封闭门的开关，以及所述运输台车工作。

在本发明的金属溅镀机中，所述控制装置包括控制器，所述控制器用于在接收到更换指令时，控制所述运输台车更换托盘。

在本发明的金属溅镀机中，所述控制器还用于根据所述更换指令携带的托盘标识，控制所述运输台车更换托盘。

在本发明的金属溅镀机中，所述控制装置包括控制器，所述控制器用于根据待溅镀基板参数，控制所述运输台车更换托盘。

在本发明的金属溅镀机中，所述控制器用于根据待溅镀基板参数，控制所述托盘存储仓将对应托盘提供给所述运输台车。

在本发明的金属溅镀机中，所述控制器用于根据待溅镀基板参数，控制所述运输台车选择所述托盘存储仓中对应托盘。

在本发明的金属溅镀机中，所述控制装置包括传感器和控制器，所述控制器用于根据所述传感器检测的所述运输台车与所述封闭门之间的距离变化，控制所述封闭门的开关。

在本发明的金属溅镀机中，所述控制装置包括传感器和控制器，所述传感器用于检测所述运输台车与所述封闭门之间的距离，所述控制器用于根据所述距离是否小于预设值，控制所述封闭门的开关。

在本发明的金属溅镀机中，所述传感器设置在所述运输台车上。

在本发明的金属溅镀机中，所述控制装置与所述运输台车无线连接。

本发明的有益效果为：本发明提供一种金属溅镀机，包括：溅镀机台，用于在基板上溅镀金属；托盘，放置在所述溅镀机台上，用于承载所述基板；托盘存储仓，用于存储托盘；运输台车，用于运输托盘；封闭门，用于封闭所述溅镀机台；控制装置，用于控制所述封闭门的开关，以及所述运输台车工作；通过设置控制装置实现托盘以及封闭门的全自动化更换，减少了手动更换托盘和开关封闭门所需时间，提升设备综合效率，从而提升生产产能，同时也减少人员手动操作带来的安全隐患，减少人员进入带来的杂质，提升产品良率。

附图说明