[发明专利]声学矢量传感器及其制造方法

摘要

本发明提供了一种声学矢量传感器及其制造方法，涉及声学传感器领域，该声学矢量传感器包括：基板，该基板上形成有凹槽；跨设在凹槽的两侧、且设置在基板上的一对感测条带，该一对感测条带包括承载绝缘部和石墨烯膜；设置在基板上的第一电极、第二电极和第三电极。通过电极向石墨烯膜施加电流时产生热量，石墨烯膜会由于声波引起其周围空气扰动而导致温度变化，进而石墨烯膜发生电阻值变化，通过检测电阻值变化能够测量声质点振速的大小，从而实现对声波的检测。该声学矢量传感器的结构能够由与微机电系统技术兼容的方法来制备，并且能够实现微型化。

主权项

1.一种声学矢量传感器，其特征在于，包括：基板，所述基板上形成有凹槽；跨设在所述凹槽的两侧、且设置在所述基板上的一对感测条带，所述一对感测条带包括承载绝缘部和石墨烯膜，所述承载绝缘部用于承载所述石墨烯膜并且使所述石墨烯膜与所述基板绝缘；设置在所述基板上的第一电极、第二电极和第三电极，所述第一电极位于所述凹槽的所述两侧中的一侧，所述第二电极和所述第三电极位于所述凹槽的所述两侧中的另一侧，并且所述第一电极、所述第二电极和所述第三电极通过电极绝缘部与所述基板绝缘；所述一对感测条带包括第一感测条带和第二感测条带，所述第一感测条带与所述第二感测条带相互平行，并且所述第一感测条带与所述第二感测条带之间的距离为预定距离，所述第一感测条带的第一端和所述第二感测条带的第一端均与所述第一电极连接，所述第一感测条带的第二端与所述第二电极连接，并且所述第二感测条带的第二端与所述第三电极连接。