[发明专利]一种用于校准扫描探针显微镜的方法在审
| 申请号： | 201910083772.9 | 申请日： | 2019-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN109991447A | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 董国材 | 申请（专利权）人： | 常州国成新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G01Q40/00 | 分类号： | G01Q40/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及物质形貌分析以及计量测试技术领域，尤其涉及一种可溯源的评估扫描探针显微镜测量物质高度的方法。它包括如下步骤：a.获得钛氧终止的钛酸锶（001）表面，表面大部分台阶为单台阶；b.利用扫描探针显微镜获得该表面的形貌图像，测量台阶高度；c.将所测得的台阶高度对比钛酸锶（001）钛氧终止面台阶的原子高度（0.3905nm），获得扫描探针显微镜的在1nm尺度的校准系数。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描探针显微镜 钛酸锶 钛氧 计量测试技术 测量台阶 测量物质 校准系数 形貌分析 形貌图像 校准 单台阶 溯源 尺度 评估 | ||
【主权项】：
1.一种用于校准扫描探针显微镜的方法，其特征包括如下步骤：a. 获得钛氧终止的钛酸锶（001）表面，表面大部分台阶为单台阶；b. 利用扫描探针显微镜获得该表面的形貌图像，测量台阶高度；c. 将所测得的台阶高度对比钛酸锶（001）钛氧终止面台阶的原子高度（0.3905nm），获得扫描探针显微镜的在1nm尺度的校准系数。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州国成新材料科技有限公司，未经常州国成新材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910083772.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
