[发明专利]一种用于校准扫描探针显微镜的方法在审
| 申请号： | 201910083772.9 | 申请日： | 2019-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN109991447A | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 董国材 | 申请（专利权）人： | 常州国成新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G01Q40/00 | 分类号： | G01Q40/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扫描探针显微镜 钛酸锶 钛氧 计量测试技术 测量台阶 测量物质 校准系数 形貌分析 形貌图像 校准 单台阶 溯源 尺度 评估 | ||
1.一种用于校准扫描探针显微镜的方法，其特征包括如下步骤：a. 获得钛氧终止的钛酸锶（001）表面，表面大部分台阶为单台阶；b. 利用扫描探针显微镜获得该表面的形貌图像，测量台阶高度；c. 将所测得的台阶高度对比钛酸锶（001）钛氧终止面台阶的原子高度（0.3905nm），获得扫描探针显微镜的在1nm尺度的校准系数。
2.根据权利要求1所述的一种用于校准扫描探针显微镜的方法，其特征是：所述的钛氧终止的钛酸锶（001）表面，为其表面钛氧覆盖的面积大于80%。
3.根据权利要求1所述的一种用于校准扫描探针显微镜的方法，其特征是：所述的表面大部分台阶为单台阶，单台阶占表面台阶比例80%。
4.根据权利要求1所述的一种用于校准扫描探针显微镜的方法，其特征是：所述的扫描探针显微镜，包括扫描隧道显微镜、原子力显微镜、静电力显微镜、磁力显微镜、扫描离子电导显微镜、扫描电化学显微镜等。
5.根据权利要求1所述的一种用于校准扫描探针显微镜的方法，其特征是：所述的获得具有原子台阶的钛氧终止面的钛酸锶表面的方法，为酸洗法，水洗法，管式炉退火法，真空退火法的一种或多种的组合。
6.根据权利要求1所述的一种用于校准扫描探针显微镜的方法，其特征是：所述的利用扫描探针显微镜获得该表面的形貌图像，包括调整扫描探针显微镜的状态，对钛氧终止面的钛酸锶表面进行原子级的成像。
7.根据权利要求1所述的一种用于校准扫描探针显微镜的方法，其特征是：所述的利用所测量的台阶高度对比钛酸锶（001）面钛氧终止面台阶的原子高度，获得扫描探针显微镜的在1nm尺度的校准系数为，钛酸锶（001）面钛氧终止面台阶的原子高度的理论高度为0.3905 nm，这个数值可以通过衍射的方法测定并溯源。
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