[发明专利]一种基于PVD技术的高纯块体金属纳米材料及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 201910073449.3 | 申请日： | 2019-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN109811309A | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | 陈汪林;颜安;王成勇;李炳新 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/50;C23C14/54;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 林丽明 |
| 地址： | 510006 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于PVD技术的高纯块体金属纳米材料及其制备方法和应用。所述制备方法包括如下步骤：S1：将基片设置于PVD设备转架上，控制靶材工作面与基片正对，且两者的距离为7~50 cm；S2：控制靶材电流密度为150~300 A，基体偏压为0~‑40 V，氮气流量为0 sccm，沉积时间10~30 h，即得所述高纯块体金属纳米材料。本发明通过优化靶材与基片之间的间距、靶材电流密度、基体偏压、沉积时间和氮气流量调为0 sccm等核心工艺参数，使得基体负变压作用，实现了高纯块体金属纳米材料的制备；制备得到的高纯块体金属纳米材料组织致密，纯度高、硬度和强度高，断裂韧性好，力学性能优异。 | ||
| 搜索关键词： | 块体金属 纳米材料 高纯 靶材 制备 制备方法和应用 氮气流量 基体偏压 沉积 断裂韧性 核心工艺 力学性能 组织致密 变压 正对 转架 优化 | ||
【主权项】：
1.一种基于PVD技术的高纯块体金属纳米材料的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1：将基片设置于PVD设备转架上，控制靶材工作面与基片正对，且两者的距离为7~50 cm；S2：控制靶材电流密度为150~300 A，基体偏压为0~‑40 V，氮气流量为0 sccm，沉积时间10~30 h，即得所述高纯块体金属纳米材料；所述高纯块体金属纳米材料为Ti、Al、Cr、Cu、Ni、TiAl合金、CrAl合金、CrTiAl合金或TiSi合金。
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