[发明专利]用于硬盘驱动器悬架的多层微致动器有效
申请号: | 201910073286.9 | 申请日: | 2019-01-25 |
公开(公告)号: | CN110085269B | 公开(公告)日: | 2022-05-27 |
发明(设计)人: | 余坤祺;张泷;P·哈恩;D·格莱斯;A·亚图拉威特 | 申请(专利权)人: | 马格内康普公司 |
主分类号: | G11B21/16 | 分类号: | G11B21/16;G11B21/20 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 李隆涛 |
地址: | 美国加*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 公开了一种用于硬盘驱动器悬架的多层微致动器,包括压电(PZT)层、约束层、下电极层、中电极层、以及上电极层。下电极层是位于PZT层的底表面上并且包括第一下电极岛、第二下电极岛、以及第三下电极岛。第二下电极岛包含从主体部分朝向PZT层的第一端部延伸的指部。中电极层在PZT层的顶表面与约束层的底表面之间设置。中电极层包括第一中电极岛以及第二中电极岛,所述第二中电极岛包含从所述主体部分朝向PZT层的第一端部延伸的指部。 | ||
搜索关键词: | 用于 硬盘驱动器 悬架 多层 微致动器 | ||
【主权项】:
1.一种多层微致动器,包括:压电(PZT)层;约束层;位于所述PZT层的底表面上的下电极层,所述下电极层包含第一下电极岛、第二下电极岛、以及第三下电极岛,所述第二下电极岛包含指部以及主体,所述指部从所述主体朝向所述PZT层的第一端部延伸;在所述PZT层的顶表面与所述约束层的底表面之间设置的中电极层,所述中电极层包含第一中电极岛以及第二中电极岛,所述第二中电极岛包含指部以及主体部分,所述指部从所述主体部分朝向所述PZT层的第一端部延伸;以及位于所述约束层的顶表面上的上电极层。
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