[发明专利]一种基于突出梳齿的MEMS驱动器及其工作方法

摘要

本发明涉及一种基于突出梳齿的MEMS驱动器及其工作方法，属于微机电领域，该驱动器包括可动部分、固定梳子、固定锚点和基底层，可动部分包括径向衍架、弧向衍架、可动梳子和弹性梁，固定梳子与可动梳子成对交叉分布，可动梳齿和固定梳齿均为突出梳齿。与现有技术相比，本发明采用了突出梳齿结构，该梳齿前后宽度不相同，施加电压后，前端较窄的梳齿将插入比梳齿略宽的间距中，梳齿间间距更小；梳齿的前端与后端分别形成了不同的静电驱动器，即在相同的结构长度中，可以设置更多对梳齿用于驱动，均有助于减小电压，可应用于外腔可调谐激光器，可以安装上或者将侧面制造成光栅或者平面镜，实现激光器的无跳模调谐。

主权项

1.一种基于突出梳齿的MEMS驱动器，其特征在于，包括可动部分、固定梳子、固定锚点和基底层，所述固定梳子和固定锚点均固定于所述基底层；所述可动部分包括径向衍架、弧向衍架、可动梳子和弹性梁，所述弧向衍架设置在以虚轴点为圆的圆弧位置上，所述径向衍架沿半径方向设置，所述可动梳子包括多个可动梳齿，多个可动梳齿通过所述径向衍架连接，所述径向衍架与弧向衍架在交点处连接，所述弹性梁的固定端与所述固定锚点连接，所述弹性梁的自由端与弧向衍架连接，所述弹性梁沿以虚轴点为圆的半径方向设置；所述固定梳子包括固定梳齿和连接梁，所述固定梳齿一侧通过连接梁连接，所述固定梳子与可动梳子成对交叉分布；所述可动梳齿和固定梳齿均为突出梳齿，所述突出梳齿包括前后连接的前端窄梳齿和后端宽梳齿，所述前端窄梳齿与后端宽梳齿的长均为以虚轴点为圆心的弧，所述突出梳齿的位置在半径对应的弧位置上。