[发明专利]一种用于微振动测量的微波谐振腔在审
| 申请号： | 201910070450.0 | 申请日： | 2019-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN110108345A | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 王兵;张铁犁;葛萌;刘晓旭;张修建;张鹏程;高翌春 | 申请（专利权）人： | 北京航天计量测试技术研究所;中国运载火箭技术研究院 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 北京国之大铭知识产权代理事务所(普通合伙) 11565 | 代理人： | 张伟凤 |
| 地址： | 100076 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于微振动测量的微波谐振腔，属于振动传感器技术领域，包括谐振腔主体、中心导体、聚合物套管、凹槽、敏感质量块、膜式悬臂梁、膜式悬臂梁支撑架，敏感质量块和膜式悬臂梁支撑架刚性连接，膜式悬臂梁支撑架与聚合物套管中末端的凹槽粘接，聚合物套管与谐振腔主体的外侧配合通过导电胶粘接。与现有技术相比，本发明的用于微振动测量的微波谐振腔的品质因数(Q)高，实现低频微振动测量准确度和灵敏度的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 微振动测量 悬臂梁 膜式 聚合物套管 微波谐振腔 支撑架 敏感质量块 谐振腔 振动传感器 导电胶粘 刚性连接 品质因数 中心导体 准确度 灵敏度 粘接 配合 | ||
【主权项】：
1.一种用于微振动测量的微波谐振腔，其特征在于：包括谐振腔主体、中心导体、聚合物套管、凹槽、敏感质量块、膜式悬臂梁、膜式悬臂梁支撑架，敏感质量块和膜式悬臂梁支撑架刚性连接，膜式悬臂梁支撑架与聚合物套管中末端的凹槽粘接，聚合物套管与谐振腔主体的外侧配合通过导电胶粘接；膜式悬臂梁的外壳上还包含两个电极：微波信号负极和微波信号正极，微波信号负极与膜式悬臂梁中的聚酯膜紧密间隔设置；微波谐振腔采用开放式同轴模式，其封闭端安装有一个母SMA连接器，中心导体焊接在镀银中空中心导体孔内，聚合物套管在外表面上设有铜箔；膜式悬臂梁上有聚酯膜，该聚酯膜包含在金属外壳内，所述用于微振动测量的微波谐振腔与微波读出电路系统相连接。
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