[发明专利]一种真空镀膜机在审
| 申请号： | 201910050898.6 | 申请日： | 2019-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN109628887A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 邱晖 | 申请（专利权）人： | 邱晖 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 361021 福建省厦*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空镀膜机，包括真空腔体、位于真空腔体顶部中间位置的镀膜鼓、位于所述镀膜鼓下方的蒸发器、位于真空腔体内两侧的靶材、以及靠近所述靶材且可以转动的工件架，所述镀膜鼓上卷绕有需要进行蒸镀的基材，所述蒸发器加热时，在蒸发器和镀膜鼓之间形成有蒸镀空间。本发明的真空镀膜机一方面能在蒸发器的作用下将镀膜材料加热蒸发，镀膜材料蒸发后向上扩散到镀膜鼓处，附着在温度较低的镀膜鼓的基材上，形成厚薄均匀的薄膜；另一方面，工件架在转动的同时均可旋转至与靶材相对的位置，从而各侧面上的工件均能完成镀膜，镀膜效率高。本发明的结构简单，能够同时进行蒸发镀膜和溅射镀膜，生产效率高，并有利于降低镀膜产品的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜鼓 蒸发器 真空镀膜机 靶材 镀膜材料 真空腔体 工件架 基材 蒸镀 转动 顶部中间位置 镀膜产品 镀膜效率 加热蒸发 溅射镀膜 生产效率 蒸发镀膜 厚薄 可旋转 真空腔 镀膜 附着 上卷 薄膜 加热 蒸发 体内 扩散 侧面 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜机 ，其特征在于：包括真空腔体、位于真空腔体顶部中间位置的镀膜鼓、位于所述镀膜鼓下方的蒸发器、位于真空腔体内两侧的靶材、以及靠近所述靶材且可以转动的工件架，所述镀膜鼓上卷绕有需要进行蒸镀的基材，所述蒸发器加热时，在蒸发器和镀膜鼓之间形成有蒸镀空间；所述工件架由驱动机构带动进行自转。
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