[发明专利]一种微定位工作台在审
| 申请号： | 201910044139.9 | 申请日： | 2019-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN109765842A | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 王思琪;方堃;丁涛;贺秋冬;袁静 | 申请（专利权）人： | 湖北工程学院 |
| 主分类号： | G05B19/402 | 分类号： | G05B19/402 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 姜展志 |
| 地址： | 432000 *** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微定位工作台。本发明的动平台设置于基座的上方，并分别与X向微定位机构、Y向微定位机构和Z向微定位机构连接，X向微定位机构、Y向微定位机构和Z向微定位机构分别用于调节动平台沿X轴、Y轴以及Z轴的位移，位置传感装置用于检测动平台沿X轴、Y轴以及Z轴的位移变化信息，控制系统分别与X向微定位机构、Y向微定位机构、Z向微定位机构和位置传感装置电连接。本发明的工作台通过X向微定位机构、Y向微定位机构、Z向微定位机构的具体结构和设置实现空间上六个自由度的微移动，用压电陶瓷做驱动实现微定位，末端输出可以达到微米级以上的高精度，因此使其可以广泛应用于微细作业领域。 | ||
| 搜索关键词： | 微定位机构 动平台 位置传感装置 微定位 微定位工作台 控制系统 台本发明 微细作业 位移变化 压电陶瓷 电连接 工作台 微米级 驱动 输出 检测 移动 应用 | ||
【主权项】：
1.一种微定位工作台，其特征在于：包括基座(1)、动平台(2)、X向微定位机构(3)、Y向微定位机构(4)、Z向微定位机构(5)、位置传感装置(6)和控制系统(7)；所述动平台(2)设置于所述基座(1)的上方，并分别与所述X向微定位机构(3)、Y向微定位机构(4)和Z向微定位机构(5)连接，所述X向微定位机构(3)、Y向微定位机构(4)和Z向微定位机构(5)分别用于调节所述动平台(2)沿X轴、Y轴以及Z轴的位移，所述位置传感装置(6)用于检测所述动平台(2)沿X轴、Y轴以及Z轴的位移变化信息，所述控制系统分别与所述X向微定位机构(3)、Y向微定位机构(4)、Z向微定位机构(5)和位置传感装置(6)电连接。
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