[发明专利]一种高利用率的稀土金属旋转靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 201910041191.9 | 申请日： | 2019-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN109536902A | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 肖世洪;雷雨;周志宏;肖世文;沈艳斌;周昭寅 | 申请（专利权）人： | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C1/02;C22C28/00;B22D13/02 |
| 代理公司： | 佛山帮专知识产权代理事务所(普通合伙) 44387 | 代理人： | 颜德昊 |
| 地址： | 510800 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种高利用率的稀土金属旋转靶材及其制备方法，该稀土金属选择靶材的制备包括：S1、在冶炼炉内，将稀土金属放入坩埚中加热至800‑2000℃待稀土金属完全熔化至液态；S2、将熔化的稀土金属倒入管状模具中浇铸成型；S3、待模具内稀土金属冷却固化后，进行脱模，得到靶材毛坯；S4对得到的靶材毛坯进行机加工；S5、加工后的靶材绑定在金属圆管上得到稀土金属旋转靶材。本发明公开的稀土金属旋转靶材的制备方法工艺简单、耗能少、易于规模化生产，制备得到的稀土旋转靶材质量好，具体体现在密度高、无裂纹孔隙、良品率高、成本低，提高钕铁硼永磁材料的矫顽力。本发明制备得到的稀土金属旋转靶材的利用率高大80％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 稀土金属 旋转靶材 制备 靶材 熔化 高利用率 毛坯 钕铁硼永磁材料 冶炼炉 制备方法工艺 规模化生产 管状模具 浇铸成型 金属圆管 冷却固化 机加工 矫顽力 良品率 绑定 放入 耗能 加热 脱模 坩埚 模具 稀土 加工 | ||
【主权项】：
1.一种高利用率的稀土金属旋转靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、在真空冶炼炉内，将稀土金属放入坩埚中加热至1000‑1800℃待稀土金属完全熔化成液态；S2、将熔化的稀土金属倒入管状模具中浇铸成型；S3、待模具内稀土金属冷却固化后，进行脱模，得到靶材毛坯；S4、对得到的靶材毛坯进行机加工成所需要的尺寸和精度；S5、加工后的靶材绑定在金属圆管上得到稀土金属旋转靶材。
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