[发明专利]频率调制射频电源以控制等离子体不稳定性的系统和方法有效
| 申请号： | 201910040540.5 | 申请日： | 2016-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN109994363B | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 伊斯达克·卡里姆;崎山幸则;亚思万斯·兰吉内尼;爱德华·奥古斯蒂尼克;道格拉斯·凯尔;拉梅什·钱德拉赛卡兰;阿德里安·拉瓦伊;卡尔·利泽 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/509;C23C16/52 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;邱晓敏 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及频率调制射频电源以控制等离子体不稳定性的系统和方法。将晶片定位在电极下方的晶片支撑装置上，使得在晶片和电极之间存在等离子体产生区域。将第一信号频率的射频信号提供给等离子体产生区域，以在等离子体产生区域内产生等离子体。基于将第一信号频率的射频信号提供给等离子体产生区域来检测等离子体内的等离子体不稳定性的形成。在检测到等离子体不稳定性形成之后，将第二信号频率的射频信号提供给等离子体产生区域来代替第一信号频率的射频信号以产生等离子体。第二信号频率大于第一信号频率，并被设定为导致等离子体内的离子能量的减少以及来自晶片的由离子与晶片的相互作用导致的二次电子发射的相应减少。 | ||
| 搜索关键词： | 频率 调制 射频 电源 控制 等离子体 不稳定性 系统 方法 | ||
【主权项】：
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