[发明专利]用于高级光刻的微乳液去除剂在审
| 申请号： | 201910039419.0 | 申请日： | 2019-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN110095954A | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | A·K·施密特;C·E·莫勒;K·M·奥康奈尔;C·J·图克;吕志坚;S·山田 | 申请（专利权）人： | 陶氏环球技术有限责任公司;罗门哈斯电子材料有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋;胡嘉倩 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种微乳液去除剂，以所述微乳液去除剂的总重量计，其包含1)10％至60％，至少一种有机溶剂，ii)10％至50％，至少一种共溶剂，iii)0.1％至10％，至少一种碱，iv)0.1％至10％，至少一种氧化剂，v)0.1％至10％，至少一种表面活性剂和vi)水。 | ||
| 搜索关键词： | 去除剂 微乳液 氧化剂 表面活性剂 有机溶剂 共溶剂 重量计 光刻 | ||
【主权项】：
1.一种微乳液去除剂，以所述微乳液去除剂的总重量计，其包含i)10％至60％，至少一种有机溶剂，ii)10％至50％，至少一种共溶剂，iii)0.1％至10％，至少一种碱，iv)0.1％至10％，至少一种氧化剂，v)0.1％至10％，至少一种表面活性剂和vi)水；其中所述有机溶剂选自水溶度小于10％的脂肪族醇和芳香族醇、二脂肪族酯、脂肪族烃、芳香族烃、脂肪族二酯、水溶度小于10％的脂肪族酮以及脂肪族醚；并且其中所述共溶剂是水溶度大于10％的脂肪族醇。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于陶氏环球技术有限责任公司;罗门哈斯电子材料有限责任公司，未经陶氏环球技术有限责任公司;罗门哈斯电子材料有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910039419.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
