[发明专利]散热器散热层制备方法及散热器有效

专利信息
申请号: 201910039105.0 申请日: 2019-01-16
公开(公告)号: CN109767992B 公开(公告)日: 2020-11-13
发明(设计)人: 伍连彬 申请(专利权)人: 深圳天元羲王材料科技有限公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48;H01L23/367
代理公司: 深圳市神州联合知识产权代理事务所(普通合伙) 44324 代理人: 周松强
地址: 510132 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供了一种散热器散热层制备方法及散热器,该方法包括:对散热器的表面进行清洗,并将清洗后的散热器放置于真空高温箱内;在真空高温箱内充入甲烷,并判断真空高温箱内的气体是否满足加热反应条件;若是,对真空高温箱进行加热,以控制甲烷加热分解为碳和氢气;对真空高温箱进行降温泄压,以控制碳对所述石墨烯进行吸附形成石墨烯散热层,并判断石墨烯散热层是否满足碳吸附完成条件;若是,取出散热器。本发明由于采用加热分解甲烷生产碳源的方法设计,使得生产的石墨烯能有效的与散热器表面进行直接粘结,中间没有胶粘剂等其他材料,使得散热器的热量能够充分被传输到石墨烯散热层上,提高了散热器的散热效果。
搜索关键词: 散热器 散热 制备 方法
【主权项】:
1.一种散热器散热层制备方法,其特征在于,包括:对散热器的表面进行清洗,并将清洗后的所述散热器放置于真空高温箱内;在所述真空高温箱内充入甲烷,并判断所述真空高温箱内的气体是否满足加热反应条件;当判断到所述真空高温箱内的气体满足所述加热反应条件时,对所述真空高温箱进行加热,以控制所述甲烷加热分解为碳和氢气;对所述真空高温箱进行降温泄压,以控制所述碳对所述石墨烯进行吸附形成石墨烯散热层,并判断所述石墨烯散热层是否满足碳吸附完成条件;当判断到所述石墨烯散热层满足所述碳吸附完成条件时,取出所述散热器。
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