[发明专利]一种硅基MEMS后坐保险机构

摘要

一种硅基MEMS后坐保险机构，采用SOI和DRIE相结合的工艺，在一块SOI基板上一体化加工而成，SOI基板为背衬底层，背衬底层上设有SiO2绝缘层，SiO2绝缘层上设有顶层硅器件结构层；顶层硅器件结构层由弹簧‑质量块后坐敏感模块、弹性梁齿型延时机构、悬臂梁闭锁机构和弹性梁后坐缓冲机构的柔性结构组成，弹簧‑质量块后坐敏感模块的上部和弹性梁齿型延时机构连接，弹簧‑质量块后坐敏感模块的下部和悬臂梁闭锁机构配合连接，并通过弹性梁后坐缓冲机构对弹簧‑质量块后坐敏感模块进行缓冲；本发明提高抗高过载能力和环境识别能力，保证MEMS后坐保险机构在勤务跌落高过载、短脉冲时间条件下的安全性，以及在发射环境下高过载、长脉冲时间条件下的作用可靠性。

主权项

1.一种硅基MEMS后坐保险机构，其特征在于：采用SOI和DRIE相结合的工艺，在一块SOI基板上一体化加工而成，SOI基板为背衬底层(K3)，背衬底层(K3)上设有SiO₂绝缘层(K2)，SiO₂绝缘层(K2)上设有顶层硅器件结构层(K1)；顶层硅器件结构层(K1)由弹簧‑质量块后坐敏感模块(100)、弹性梁齿型延时机构(200)、悬臂梁闭锁机构(300)和弹性梁后坐缓冲机构(400)的柔性结构组成，弹簧‑质量块后坐敏感模块(100)的上部和弹性梁齿型延时机构(200)连接，弹簧‑质量块后坐敏感模块(100)的下部和悬臂梁闭锁机构(300)配合连接，并通过弹性梁后坐缓冲机构(400)对弹簧‑质量块后坐敏感模块(100)进行缓冲。