[发明专利]一种用于OVD沉积废气净化回收装置在审
| 申请号： | 201910013443.7 | 申请日： | 2019-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN109647077A | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 金雾;秦强;伍淑坚;田锦成 | 申请（专利权）人： | 烽火通信科技股份有限公司;武汉烽火锐拓科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/06 | 分类号： | B01D46/06;B01D46/04;B01D46/02;B01D46/00 |
| 代理公司： | 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) 42225 | 代理人： | 邱云雷 |
| 地址： | 430000 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于OVD沉积废气净化回收装置，包括进气总管、出气总管、排气机构、除尘机构、控制系统；进气总管与OVD沉积炉连通；排气机构与出气总管连通；除尘机构包括至少一个除尘单元，除尘单元包括除尘箱，除尘箱包括设置有过滤组件的过滤室、位于过滤室上方并与其相连通的净气室、位于过滤室下方并与其连通的集灰组件；过滤室通过进气支管与进气总管连通，净气室通过出气支管与出气总管连通；过滤组件包括滤袋、设于滤袋内的第一加热器；控制系统与第一加热器连接，并用于控制第一加热器工作。通过第一加热器加热提高过滤袋和过滤室内的温度，从而避免糊袋和板结，也避免了结露形成的碳酸溶液造成设备腐蚀脱落污染回收的二氧化硅粉尘。 | ||
| 搜索关键词： | 第一加热器 连通 过滤室 出气总管 进气总管 废气净化回收装置 除尘单元 除尘机构 过滤组件 控制系统 排气机构 除尘箱 净气室 滤袋 沉积 二氧化硅粉尘 出气支管 进气支管 设备腐蚀 碳酸溶液 沉积炉 过滤袋 板结 糊袋 集灰 加热 过滤 室内 回收 污染 | ||
【主权项】：
1.一种用于OVD沉积废气净化回收装置，其特征在于，包括：进气总管(1)，其与OVD沉积炉连通；出气总管(2)；排气机构(3)，其与所述出气总管(2)连通；除尘机构，其包括至少一个除尘单元(4)，所述除尘单元(4)包括除尘箱(40)，所述除尘箱(40)包括设置有过滤组件(41)的过滤室(42)、位于过滤室(42)上方并与其相连通的净气室(43)、位于过滤室(42)下方并与其连通的集灰组件(44)；所述过滤室(42)通过进气支管与所述进气总管(1)连通，所述净气室(43)通过出气支管与出气总管(2)连通；所述过滤组件(41)包括滤袋(410)、设于滤袋(410)内的第一加热器(411)；控制系统，其与所述第一加热器(411)连接，并用于控制所述第一加热器(411)工作。
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