[发明专利]基板收纳容器有效
| 申请号： | 201880100090.8 | 申请日： | 2018-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN113396113B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 佐藤恭兵 | 申请（专利权）人： | 未来儿股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;B65D85/30 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 崔迎宾;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板收纳容器(1)，容器主体(2)具备具有后壁(22)、上壁(23)、下壁(24)和一对侧壁的壁部(20)，通过后壁(22)封闭壁部(20)的另一端部，通过上壁(23)的一端部、下壁(24)的一端部和侧壁(25、26)的一端部形成容器主体开口部，在下壁(24)设置有将被收纳物(RP)相对于容器主体(2)定位的定位部(50)，在上壁(23)设置有将被收纳物(RP)的上部向下壁(24)的方向按压的下方按压部(60)，盖体(3)当封闭容器主体开口部时，使下方按压部(60)将被收纳物(RP)的上部向下壁(24)的方向按压。 | ||
| 搜索关键词： | 收纳 容器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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