[发明专利]用于蒸发材料的蒸发设备及使用蒸发设备蒸发材料的方法在审
| 申请号： | 201880099225.3 | 申请日： | 2018-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN112996946A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·龙 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/26;C23C14/12;B01B1/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文描述的实施方式有关于一种用于蒸发材料的蒸发设备(100)。蒸发设备包括用于材料的容器(105)以及加热组件(110)，加热组件包括至少部分地设置在容器周围的外部加热单元(115)以及位于容器内的网状结构(120)。外部加热单元用于在容器内提供温度梯度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 蒸发 材料 设备 使用 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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