[发明专利]用于蒸发材料的蒸发设备及使用蒸发设备蒸发材料的方法

权利要求书

1.一种用于蒸发材料的蒸发设备(100)，所述蒸发设备包括：

用于所述材料的容器(105)；以及

加热组件(110)，包括：

外部加热单元(115)，所述外部加热单元(115)至少部分地设置在所述容器周围；以及

网状结构(120)，所述网状结构(120)位于所述容器内；

所述外部加热单元用于在所述容器内提供温度梯度。

2.一种用于蒸发材料的蒸发设备(100)，所述蒸发设备包括：

容器(105)；

加热组件(110)，包括：

外部加热单元(115)，所述外部加热单元(115)至少部分地设置在所述容器周围；

网状结构(120)，所述网状结构(120)位于所述容器内；

所述蒸发设备更包括：

施力单元(125)，所述施力单元(125)耦接到所述网状结构。

3.根据权利要求2所述的蒸发设备(100)，其中所述施力单元(125)经构造以向所述网状结构(120)施加力。

4.一种用于蒸发材料的蒸发设备(100)，所述蒸发设备包括：

容器(105)，所述容器(105)用于储存待蒸发的固体材料；

网状结构(120)，所述网状结构(120)位于所述容器内并布置在所述固体材料的下方；以及

蒸气引导导管，所述蒸气引导导管位于所述网状结构下方。

5.根据权利要求1或4所述的蒸发设备(100)，其中所述网状结构是可移动的。

6.根据前述权利要求任一项所述的蒸发设备(100)，其中所述网状结构(120)由碳制成，特别是由类玻璃碳制成。

7.根据前述权利要求任一项所述的蒸发设备(100)，其中所述蒸发设备包括冷却网(122)，所述冷却网被布置为与所述网状结构(120)相邻。

8.根据前述权利要求任一项所述的蒸发设备(100)，其中所述蒸发设备包括材料供给系统(130)，所述材料供给系统(130)用于将所述材料提供给所述容器(105)。

9.根据权利要求8所述的蒸发设备(100)，其中所述材料供给系统(130)包括材料储存器(132)以及材料供给装置(136)，所述材料供给装置(136)用于将所述容器(105)与所述材料储存器(132)连接。

10.根据权利要求8至9任一项所述的蒸发设备(100)，其中所述材料供给装置(136)的材料供给出口的横截面积小于所述容器(105)的横截面积。

11.根据权利要求8至10任一项所述的蒸发设备(100)，其中所述材料供给系统(130)包括材料供给入口(134)，所述材料储存器(132)通过筛分元件(137)与所述材料供给入口(134)隔开。

12.根据权利要求8至11任一项所述的蒸发设备(100)，其中所述材料供给系统(130)包括再填充部(138)和安全阀(140)，所述安全阀在再填充构造和储存构造之间是可操作的。

13.根据前述权利要求任一项所述的蒸发设备(100)，其中所述蒸发设备包括用于将所述容器(105)与分配组件(260)连接的过渡区域，所述过渡区域或所述分配组件包括内部辐射屏蔽件(152)。

14.一种用于在真空腔室中在基板上沉积材料的沉积设备，所述沉积设备包括：

真空腔室；

布置在所述真空腔室中的根据权利要求1至13中任一项所述的蒸发设备(100)；以及

分配组件(260)，所述分配组件(260)与所述蒸发设备流体连通，以朝向所述基板引导将蒸发的材料。