[发明专利]等离子体发生装置有效
| 申请号： | 201880098135.2 | 申请日： | 2018-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN112753286B | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 池户俊之 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士 |
| 主分类号： | H05H1/34 | 分类号： | H05H1/34 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 杨青;安翔 |
| 地址： | 日本爱知*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供能够抑制通过气体流路的放电的产生的等离子体发生装置。等离子体发生装置具备：一对电极，通过放电而产生等离子气体；第一喷嘴部，具有多个第一气体流路，通过多个第一气体流路而使等离子气体流动；第二喷嘴部，具有多个第二气体流路，将从多个第一气体流路流入的等离子气体从多个第二气体流路喷出；及隔断部，设于第二喷嘴部中的相当于一对电极之间的位置，进行隔断以使得多个第一气体流路中的至少两个第一气体流路互不连接。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 发生 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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