[发明专利]等离子体发生装置

说明书

提供能够抑制通过气体流路的放电的产生的等离子体发生装置。等离子体发生装置具备：一对电极，通过放电而产生等离子气体；第一喷嘴部，具有多个第一气体流路，通过多个第一气体流路而使等离子气体流动；第二喷嘴部，具有多个第二气体流路，将从多个第一气体流路流入的等离子气体从多个第二气体流路喷出；及隔断部，设于第二喷嘴部中的相当于一对电极之间的位置，进行隔断以使得多个第一气体流路中的至少两个第一气体流路互不连接。

技术领域

本公开涉及从多个气体流路喷出等离子气体的等离子体发生装置。

背景技术

以往，作为从多个气体流路喷出等离子气体的等离子体发生装置，提出了下述专利文献1的等离子体发生装置。专利文献1的等离子体发生装置从连接于多个第三气体流路的下端的多个第四气体流路喷出等离子气体。多个第三气体流路各自的上端连接于一个凹部。另外，在凹部的上部连接有比第三气体流路少的数量的第二气体流路。等离子气体从多个第二气体流路中的各第二气体流路经由凹部而向多个第三气体流路流入。

现有技术文献

专利文献1：国际公开第WO2018/029845号

发明内容

发明所要解决的课题

在上述等离子体发生装置中，例如，通过对第二气体流路连接第三气体流路而增加气体流路的数量。具体而言，将多个第二气体流路连接于由一个空间构成的凹部。并且，使一度汇集于凹部的第二气体流路再次分支成第三气体流路。在这样的结构中，若缩短电极与气体流路之间的距离或者变更向电极施加的电压，则可能会通过气体流路和凹部而产生电极间的放电。通过这样的非意图的路径的放电，可能会使气体流路和凹部消耗。

本公开鉴于上述内容而作出，其课题在于提供能够抑制通过气体流路的放电的产生的等离子体发生装置。

用于解决课题的手段

本说明书公开一种等离子体发生装置，具备：一对电极，通过放电而产生等离子气体；第一喷嘴部，具有多个第一气体流路，通过上述多个第一气体流路而使上述等离子气体流动；第二喷嘴部，具有多个第二气体流路，将从上述多个第一气体流路流入的上述等离子气体从上述多个第二气体流路喷出；及隔断部，设于上述第二喷嘴部中的相当于上述一对电极之间的位置，进行隔断以使得上述多个第一气体流路中的至少两个第一气体流路互不连接。

发明效果

根据本公开，通过连接第一气体流路和第二气体流路，能够利用隔断部54来抑制通过两个第一气体流路的放电的产生。

附图说明

图1是示出实施方式的等离子体处理机1的整体结构的立体图。

图2是将图1的等离子体处理机1具有的等离子体头14以拆下了罩的状态示出的立体图。

图3是图2的等离子体头14的剖视图。

图4是安装了与图3的喷嘴30不同的喷嘴51的等离子体头14的剖视图。

图5是喷嘴51的俯视图。

图6是安装了不具备隔断部54的喷嘴61的等离子体头14的剖视图。

图7是安装了另一例的喷嘴63的等离子体头14的剖视图。

图8是安装了另一例的喷嘴64的等离子体头14的剖视图。

图9是安装了另一例的喷嘴65的等离子体头14的剖视图。

具体实施方式

以下，参照图来详细说明能够安装作为本公开的等离子体发生装置的一实施方式的等离子体头14的等离子体处理机。需要说明的是，本公开除了下述实施方式以外，还能够以基于本领域技术人员的知识实施了各种变更、改良后的各种方案来实施。