[发明专利]扫描速度动态变化的SEM引导的AFM形貌扫描方法在审
| 申请号： | 201880095092.2 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN112955996A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 孙钰;陈俊;陈科纶;王天骢 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 杨慧林 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市相城区高*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种利用从扫描电子显微镜(SEM)图像中提取的形貌信息来确定原子力显微镜(AFM)图像在样品上每个采样点或每个区域的扫描速度的方法。该方法包括对扫描电镜图像进行处理，提取可能的形貌特征并生成特征度量图，将特征度量图转换为AFM扫描速度图，并根据扫描速度图进行AFM扫描。该方法可使AFM扫描在形貌特征较少的区域具有较高的扫描速度，而在形貌特征丰富的区域具有较低的扫描速度。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 速度 动态 变化 sem 引导 afm 形貌 方法 | ||
【主权项】：
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