[发明专利]带电粒子束装置及其轴调整方法在审
| 申请号： | 201880093567.4 | 申请日： | 2018-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN112189248A | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 今井悠太;笹岛正弘;高鉾良浩 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/15 | 分类号： | H01J37/15;H01J37/12;H01J37/141;H01J37/147 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 丁文蕴;金成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明实现一种带电粒子束装置，通过使基于减速电场的静电透镜的轴与磁场透镜的轴一致，使作为重叠透镜的轴调整容易。带电粒子束装置具有：电子源(2)；使来自电子源的探测电子束聚焦于试样的物镜(4)；使探测电子束穿过的第一束射管(8)及第二束射管(9)；配置于第一束射管(8)与试样(12)之间的减速电极(10)；通过对第一束射管(8)施加第一电位，在第一束射管(8)与减速电极(10)之间形成针对探测电子束的减速电场的第一电压源(15)；以及使第一束射管(8)的位置移动的移动机构(11)。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 及其 调整 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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