[发明专利]电子束源及其应用在审
| 申请号： | 201880089189.2 | 申请日： | 2018-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN111712898A | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 马蒂亚斯·法杰 | 申请（专利权）人： | 阿尔卡姆公司 |
| 主分类号： | H01J1/13 | 分类号： | H01J1/13;H01J1/16;H01J3/02;B33Y30/00;B29C64/153 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 徐颖聪 |
| 地址： | 瑞典默*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种用于产生电子束的电子束源，该电子束源包括阴极、阳极和用于调节电子束电流的栅极。阴极具有基部和具有侧壁和顶表面的突起。基部表面和顶表面基本上是平坦的。基部表面和顶表面彼此以预定距离布置。基部大于突起。电子束源还包括控制单元，用于改变施加到栅极的电压，以在至少第一斑点大小和第二斑点大小之间切换电子束在目标表面上的斑点大小，第一斑点大小对应于仅从阴极的顶表面的发射，第二斑点大小对应于从阴极的顶表面和基部表面的发射。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 及其 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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