[发明专利]氧化物溅射膜、氧化物溅射膜的制造方法、氧化物烧结体和透明树脂基板在审
| 申请号： | 201880088250.1 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN111670263A | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 桑原正和;仁藤茂生 | 申请（专利权）人： | 住友金属矿山株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C04B35/457;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 陈彦;胡玉美 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的目的在于提供通过量产性高的直流溅射而具有优异的透明性、良好的水蒸气阻隔性能、氧阻隔性能的氧化物溅射膜、氧化物溅射膜的制造方法、氧化物烧结体和透明树脂基板。一种氧化物溅射膜，其特征在于，其为含有Zn与Sn的非晶质透明的具有水蒸气阻隔性能或氧阻隔性能的氧化物溅射膜，上述Zn与Sn的金属原子数比的Sn/(Zn+Sn)为0.18以上0.29以下。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化物 溅射 制造 方法 烧结 透明 树脂 | ||
【主权项】：
暂无信息
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