[发明专利]用于封闭MEMS元件的柔性膜片中的开口的方法在审
| 申请号： | 201880088165.5 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN111655608A | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | C·赫尔梅斯;J·布茨;B·格尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于封闭在MEMS元件的柔性膜片中的开口的方法，所述方法包括以下步骤：‑提供在所述柔性膜片中的至少一个开口，‑将封闭材料布置在所述至少一个开口的区域中，‑至少使施加在所述至少一个开口的区域中的所述封闭材料熔化并且随后使熔化的材料冷却以用于封闭所述至少一个开口。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 封闭 mems 元件 柔性 膜片 中的 开口 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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