[发明专利]基于缺陷概率的过程窗口有效
| 申请号： | 201880083228.8 | 申请日： | 2018-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN111512237B | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | A·史拉奇特;斯蒂芬·亨斯克;W·T·特尔;A·B·范奥斯汀;K·范因根史奇劳;G·里斯朋斯;布伦南·彼得森 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文中描述一种方法。所述方法包括：获得(i)所述特征的参数的测量结果、(ii)与图案化过程的过程变量相关的数据、(iii)基于所述参数的所述测量结果和与所述过程变量相关的所述数据而被定义为所述过程变量的函数的所述参数的函数行为、(iv)所述特征的失效率的测量结果，以及(v)针对所述过程变量的设定的所述过程变量的概率密度函数；基于转换函数将所述过程变量的所述概率密度函数转换成所述参数的概率密度函数，其中基于所述过程变量的所述函数来确定所述转换函数；以及基于所述参数的所述概率密度函数、以及所述失效率的所述测量结果，来确定所述参数的参数极限。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 缺陷 概率 过程 窗口 | ||
【主权项】：
暂无信息
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