[发明专利]基于缺陷概率的过程窗口

权利要求书

1.一种用于确定衬底上的特征的参数极限的方法，所述方法包括：

获得(i)所述特征的参数的测量结果、(ii)与用于产生所述特征的图案化过程的过程变量相关的数据、(iii)基于所述参数的所述测量结果和与所述过程变量相关的所述数据而被定义为所述过程变量的函数的所述参数的函数行为、(iv)所述特征的失效率的测量结果，以及(v)针对所述过程变量的设定的所述过程变量的概率密度函数；

由硬件计算机系统基于转换函数将针对所述设定的所述过程变量的所述概率密度函数转换成针对所述设定的所述参数的概率密度函数，其中基于所述过程变量的所述函数来确定所述转换函数；以及

由所述硬件计算机系统基于针对所述设定的所述参数的所述概率密度函数、以及所述特征的所述失效率的所述测量结果，来确定所述参数的参数极限。

2.根据权利要求1所述的方法，其中针对所述设定的所述过程变量的所述概率密度函数是基于所述过程变量的方差和针对所述过程变量的所述设定而确定的所述过程变量的所述函数关于所述过程变量的偏导数来确定的，所述方差是根据针对所述过程变量的所述设定的所述参数的测量方差来计算的。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述转换函数是转换因子，其中所述转换因子是针对所述过程变量的所述设定而确定的所述过程变量的所述函数的逆的偏导数的绝对值。

4.根据权利要求1所述的方法，还包括：

由所述硬件计算机系统基于所述参数极限和所述参数的所述概率密度函数来确定所述特征的估计失效率；和

由所述硬件计算机系统识别与所述过程变量相关的过程窗口，使得所述特征的所述估计失效率小于预定阈值。

5.根据权利要求2所述的方法，还包括：

由所述硬件计算机系统基于所述参数极限和所述参数的所述概率密度函数来确定所述特征的估计失效率；和

由所述硬件计算机系统识别与所述过程变量相关的过程窗口，使得所述特征的所述估计失效率小于预定阈值。

6.根据权利要求4所述的方法，其中所述预定阈值基于所述图案化过程的选定产率。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述失效率与所述特征的一个或更多个失效相关，一个或更多个失效模式包括所述特征的实体失效、转印失效和/或延迟失效。

8.根据权利要求4所述的方法，其中所述失效率与所述特征的一个或更多个失效相关，一个或更多个失效模式包括所述特征的实体失效、转印失效和/或延迟失效。

9.根据权利要求7所述的方法，其中所述特征的所述延迟失效是由于当前处理步骤中的缺陷而在所述图案化过程的下一步骤中出现的失效；和/或

其中所述特征的所述一个或更多个失效基于特定失效的频率而被加权以产生所述特征的加权失效率。

10.根据权利要求8所述的方法，还包括：

基于所述一个或更多个失效与所述过程变量之间的相关性而获得所述过程变量的加权函数；

由所述硬件计算机系统基于所述过程变量的所述加权函数来确定所述参数的加权参数极限；以及

由所述硬件计算机系统基于所述加权参数极限来确定所述过程窗口。

11.根据权利要求10所述的方法，还包括：

由所述硬件计算机系统基于与抗蚀剂过程相关联的所述延迟失效通过模拟而使用所述抗蚀剂过程的抗蚀剂模型来优化抗蚀剂厚度和/或抗蚀剂类型；和/或

其中与所述抗蚀剂过程相关联的所述失效包括基脚失效和/或颈缩失效。

12.根据权利要求4所述的方法，还包括：

获得针对多个特征类型中的每个特征类型的所述参数极限、和基于对应参数极限的所述多个特征类型中的每个特征类型的所述估计失效率；和

由所述硬件计算机系统基于所述多个特征类型中的每个特征类型的所述估计失效率的乘积来确定重叠过程窗口。