[发明专利]成膜方法有效
| 申请号： | 201880082156.5 | 申请日： | 2018-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN111511476B | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 长谷川昌孝;金沢勇人 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | B05D1/02 | 分类号： | B05D1/02;B05D3/00;B05D3/02;B05D3/06;B05D3/10;B05D3/12;C23C24/04;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 张志楠;褚瑶杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的课题在于提供一种在通过气溶胶沉积法进行的成膜中，能够提高成膜速度的成膜方法。将包含成膜材料的原料液气溶胶化，向以10kHz以下的频率振动的基材提供所生成的气溶胶，将包含成膜材料的膜成膜于基材上，由此解决课题。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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