[发明专利]缺陷检测系统有效
| 申请号： | 201880080801.X | 申请日： | 2018-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN111465830B | 公开（公告）日： | 2023-09-26 |
| 发明（设计）人： | R.A.马丁 | 申请（专利权）人： | 奥宝科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/48 | 分类号： | G01J5/48;G01R31/265 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 林斯凯 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种缺陷检测系统，包括：图案发生器，用于在至少部分地由被测电路确定的预定时间处选择性地激励被测电路的部分；多个传感器，包括至少一个热传感器；以及同步发生器，该同步发生器可操作以接收图案发生器的输出，并基于该输出使至少一个热传感器的操作与图案发生器的操作同步。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检测 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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