[发明专利]缺陷检测系统

权利要求书

1.一种缺陷检测系统，包括：

图案发生器，用于在至少部分地由被测电路确定的预定时间处选择性地激励所述被测电路的部分；

多个传感器，包括至少一个热传感器；以及

同步发生器，可操作以接收所述图案发生器的输出，并基于所述输出使所述至少一个热传感器的操作与所述图案发生器的操作同步；

其中所述同步发生器的输出耦合到所述至少一个热传感器的输入。

2.根据权利要求1所述的缺陷检测系统，其中，所述至少一个热传感器包括至少一个寄存器，所述至少一个寄存器可操作以：

记录从所述同步发生器接收到的信息；以及

提供所述信息的输出。

3.根据权利要求2所述的缺陷检测系统，还包括图像处理计算机，所述图像处理计算机可操作以：

从所述至少一个热传感器接收热图像数据；

从所述至少一个寄存器接收所述信息的所述输出；以及

输出热图像。

4.根据权利要求3所述的缺陷检测系统，其中，基于来自所述至少一个寄存器的所述信息，所述图像处理计算机可操作以通过以下方式输出热图像：

查明所述热图像数据中的哪些热图像数据与缺陷检测相关；

丢弃不相关的热图像数据；以及

利用被查明为与缺陷检测相关的所述热图像数据来生成所述热图像。

5.一种缺陷检测系统，包括：

图案发生器，用于在至少部分地由被测电路确定的预定时间处选择性地激励所述被测电路的部分；

多个传感器，包括至少两个热传感器；以及

同步发生器，可操作以接收所述图案发生器的输出，并基于所述输出使所述至少两个热传感器的操作与所述图案发生器的操作同步；

其中所述同步发生器的输出耦合到所述至少两个热传感器的输入。

6.根据权利要求5所述的缺陷检测系统，其中，所述至少两个热传感器中的每一个热传感器包括至少一个寄存器，所述至少一个寄存器可操作以：

记录从所述同步发生器接收到的信息；以及

提供所述信息的输出。

7.根据权利要求6所述的缺陷检测系统，还包括图像处理计算机，所述图像处理计算机可操作以：

从所述至少两个热传感器接收热图像数据；

从所述至少一个寄存器接收所述信息的所述输出；以及

输出热图像。

8.根据权利要求7所述的缺陷检测系统，其中，基于来自所述至少一个寄存器的所述信息，所述图像处理计算机可操作以通过以下方式输出热图像：

查明所述热图像数据中的哪些热图像数据与缺陷检测相关；

丢弃不相关的热图像数据；以及

利用被查明为与缺陷检测相关的所述热图像数据来生成所述热图像。

9.一种缺陷检测系统，包括：

图案发生器，用于在预定时间处选择性地激励被测电路ECUT的部分，并提供ECUT特定外部同步脉冲；和

差分热像子系统，包括：

多个传感器，所述多个传感器包括要求处于至少第一脉冲频率的周期性外部读出触发脉冲的至少一个热传感器；以及

同步发生器，可操作以：

从所述图案发生器接收所述ECUT特定外部同步脉冲以操作所述至少一个热传感器，所述ECUT特定外部同步脉冲与所述预定时间相协调，并且具有至少部分地由所述ECUT确定的第二脉冲频率，所述第二脉冲频率大于所述第一脉冲频率；

在不存在所述ECUT特定外部同步脉冲的情况下，将所述周期性外部读出触发脉冲提供给所述至少一个热传感器；以及

将ECUT特定外部读出触发脉冲和ECUT特定相关读出指示脉冲提供给所述至少一个热传感器，从而使所述至少一个热传感器的操作与所述图案发生器的操作同步，由此当所述ECUT特定外部读出触发脉冲被提供给所述至少一个热传感器时，所述至少一个热传感器不接收所述周期性外部读出触发脉冲。